Kvalitetskontroll och optimering av beläggningsprocesser med jonkromatografi

Ytbehandling som galvanisering är en av de viktigaste industriella processerna för att designa produkter med anpassade fysikaliska, kemiska och elektroniska egenskaper. Renhet och sammansättning av lösta ämnen, lösningsmedel, katalysatorer och elektrolytbad är ett nyckelkrav för att uppnå de önskade egenskaperna, förhindra skador och underlägsenhet hos produkterna genom obalanser eller föroreningar. Föroreningar, även på ultraspårnivå, kan ha skadliga effekter till exempel på de elektriska egenskaperna hos integrerade kretsar och slutprodukter inom halvledarindustrin. Därför föreskriver Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) för många grundläggande kemikalier och råmaterial föroreningsnivåer i det låga µg/L-intervallet. Jonkromatografi är den idealiska metoden för att analysera joniska föroreningar, även i ng/L-intervallet.

Föroreningar som fluorid, klorid, bromid, nitrit, nitrat, fosfat eller sulfat kan förändra egenskaperna hos ett bad. Följaktligen försämras pläteringsegenskaperna eller kan till och med skada halvledaren. Kemikalier och råmaterial som används för processlösningar, såsom etsning, plätering eller rengöringslösningar, måste vara praktiskt taget fria från sådana joniska föroreningar. Jonkromatografi, i kombination med matriselinering och förkoncentrering inline, är idealiskt för att bestämma sådana föroreningar även i ultraspåranalyser.

Matriseliminering inline tar bort oladdade eller motsatt laddade matriskomponenter (t.ex. väteperoxid), vilket minskar provberedningen och förbättrar kolonnens livslängd. Ytterligare kombination med intelligent förkoncentrering inline, ökar mätkänsligheten, vilket möjliggör analys av föroreningar i ng/L-området.

Exempel på applikationer:

• Spåranjon- och katjonanalys i ultrarent vatten
• Spåranjonanalys i syror
• Klorid och sulfat i tetrametylammoniumhydroxid (TMAH)
• Anjoniska föroreningar i väteperoxid eller organiska lösningsmedel som isopropanol

Teknikens stabilitet gör det möjligt att hantera nästan alla processlösningar, som etsning, extrahering eller sköljlösningar,

Variable Inline Preconcentration including Matrix Elimination for trace anion analysis (MiPCT-ME)

Trace anions in tetramethylammonium hydroxide (TMAOH)

Determination of trimethylamine and standard cations in 30% hydrogen peroxide (H₂O₂)

Determination of pyrophosphate and standard anions in 30% hydrogen peroxide (H₂O₂)

Brochure: Metrohm Inline Sample Preparation (8.940.5004, PDF, 1.2 MB)

Ladda ner pressrelease på engelska