Kontrola kvality a optimalizácia procesov nanášania povlakov pomocou iónovej chromatografie (IC)

Povrchová úprava, ako je galvanické pokovovanie, je jedným z najdôležitejších priemyselných procesov pri navrhovaní produktov so špeciálnymi fyzikálnymi, chemickými a elektronickými vlastnosťami. Čistota a zloženie rozpustených látok, rozpúšťadiel, katalyzátorov a elektrolytických kúpeľov sú kľúčovou požiadavkou na dosiahnutie požadovaných vlastností, zabránenie poškodeniu a nerovnomernosti produktov alebo kontamináciou. Nečistoty, dokonca aj na ultrastopovej úrovni, môžu mať škodlivé účinky napríklad na elektrické vlastnosti integrovaných obvodov a finálnych produktov v polovodičovom priemysle. Preto spoločnosť Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) stanovuje pre mnohé základné chemikálie a suroviny úrovne nečistôt v rozsahu nízkych µg/l. Iónová chromatografia (IC) je ideálna metóda na analýzu iónových nečistôt, dokonca aj v rozsahu ng/l.

Nečistoty ako fluorid, chlorid, bromid, dusitan, dusičnan, fosforečnan alebo síran môžu zmeniť vlastnosti kúpeľa. V dôsledku toho sa zhoršia vlastnosti pokovovania alebo dokonca dôjde k poškodeniu polovodiča. Chemikálie a suroviny používané na procesné roztoky, ako je leptanie, pokovovanie alebo čistiace roztoky, musia byť prakticky bez takýchto iónových nečistôt. IC v kombinácii s Inline Matrix Elimination a Inline Preconcentration je ideálny na stanovenie takýchto nečistôt aj v ultrastopách.

Inline Matrix Elimination odstraňuje nenabité alebo opačne nabité zložky matrice (napr. peroxid vodíka), čím sa znižuje potreba na prípravu vzorky a zlepšuje sa životnosť kolóny. Dodatočná kombinácia s inteligentnou predkoncentráciou Inline zvyšuje citlivosť merania a umožňuje analýzu nečistôt v rozsahu ng/l.

Príklady aplikácií zahŕňajú:

• Stopová analýza aniónov a katiónov v ultračistej vode
• Analýza stopových aniónov v kyselinách
• Chlorid a síran v hydroxide tetrametylamónnom (TMAH)
• Aniónové nečistoty v peroxide vodíka alebo organických rozpúšťadlách, ako je izopropanol

Robustnosť techniky umožňuje zvládnuť takmer všetky procesné riešenia, ako sú leptacie, extrakčné alebo oplachovacie roztoky.

Variable Inline Preconcentration including Matrix Elimination for trace anion analysis (MiPCT-ME)

Trace anions in tetramethylammonium hydroxide (TMAOH

Determination of trimethylamine and standard cations in 30% hydrogen peroxide (H₂O₂)

Determination of pyrophosphate and standard anions in 30% hydrogen peroxide (H₂O₂)

Brochure: Metrohm Inline Sample Preparation (8.940.5002, PDF, 4.35 MB)