AN-S-365
Impuretés anioniques dans l'hydroxyde d'ammonium concentré de qualité pour semi-conducteurs
Résumé
Des produits chimiques ultrapures sont requis dans l'industrie des semi-conducteurs. Les impuretés ioniques peuvent conduire à des produits corrompus. Cette application décrit la détermination des impuretés anioniques dans une solution d'hydroxyde d'ammonium à 28 % de qualité pour semi-conducteurs. Pour éviter les perturbations matricielles, il convient d'appliquer la neutralisation inline et la préconcentration inline avec élimination de la matrice.