TA-019

Simultane Bestimmung von Mineralsäuren, Fluorid und Silikat in Ätzbädern

Zusammenfassung

Dieser Artikel beschreibt eine ionenchromatographische Methode zur simultanen Bestimmung von HF, HNO₃, H₂SO₄, kurzkettigen organischen Säuren, sowie von H₂SiF₆ in sauren Texturierungsbädern.

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// Acids – inorganic// Electronic components, semiconductors