TA-019

同时测定在蚀刻浴中的矿物酸，氟化物和硅酸盐

概要

本文描述离子色谱法，用于在酸性蚀刻浴中同时测定 HF、HNO₃、H₂SO₄、短链有机酸，以及 H₂SiF₆。

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// Acids – inorganic// Electronic components, semiconductors