AB-344
Automatisierte Analyse von Ätzsäuremischungen für Siliziumsubstrate mit thermometrischer Titration
Zusammenfassung
Dieses Application Bulletin beschreibt die automatisierte Bestimmung von Gemischen aus HNO3, HF und H2SiF6 im Bereich von etwa 200-600 g/L HNO3, 50-160 g/L HF und 0-185 g/L H2SiF6 mittels thermometrischer Titration. Ätzsäuregemische, die HNO3, HF und H2SiF6 aus dem Ätzen von Siliziumsubstraten enthalten, können in einer Folge von zwei Bestimmungen analysiert werden. Die erste Bestimmung beinhaltet eine direkte Titration mit Standard c(NaOH) = 2 mol/L, gefolgt von einer Rücktitration mit c(HCl) = 2 mol/L. Diese Bestimmung ergibt den H2SiF6-Gehalt sowie einen Wert für den kombinierten (HNO3 + HF) Gehalt. Die zweite Bestimmung besteht aus einer Titration mit c(Al3+) = 0,5 mol/L zur Bestimmung des HF-Gehalts. Aus den Ergebnissen kann dann der HNO3-Gehalt berechnet werden.
Für frisch hergestellte Mischungen aus HNO3 und HF, die kein H2SiF6 enthalten, kann eine verknüpfte Zweititration verwendet werden. In der ersten Titration wird der kombinierte HNO3 + HF-Gehalt mit c(NaOH) = 2 mol/L bestimmt. Diese Titration wird automatisch abgebrochen und eine zweite Titration mit c(Al3+) = 0,5 mol/L zur Bestimmung des HF-Gehalts gestartet. Aus den Ergebnissen kann dann der HNO3-Gehalt berechnet werden.