Automatisierte Analyse von Ätzflüssigkeitsmischungen mit dem 859 Titrotherm und dem 814 USB Sample Processor

Dieses Bulletin beschäftigt sich mit der automatisierten Bestimmung der Mischungen aus HNO₃, HF und H₂SiF₆ im Bereich von ca. 200-600 g/L HNO₃, 50-160 g/L HF und 0-185 g/L H₂SiF₆ mittels thermometrischer Titration. Ätzsäuregemische, die HNO₃, HF und H₂SiF₆ vom Ätzen der Siliziumsubstrate enthalten, können in einer Abfolge von zwei Analysen mit Hilfe des 859 Titrotherm bestimmt werden. Die erste beinhaltet eine direkte Titration mit einer Standard-c(NaOH)-Lösung von 2 mol/L, die von einer Rücktitration mit c(HCl) = 2 mol/L gefolgt wird. Diese Bestimmung ergibt einen H₂SiF₆-Gehalt plus einen Wert für den kombinierten (HNO₃+HF)-Gehalt. Die zweite Analyse besteht aus einer Titration mit c(Al³⁺) = 0.5 mol/L zur Bestimmung des HF-Gehalts. Für frisch hergestellte Mischungen aus HNO₃ und HF, die kein H₂SiF₆ enthalten, wird eine aus zwei Schritten bestehende Titration angewendet. Resultate aus diesen beiden Analysen werden von der tiamoTM dazu genutzt, einzelne Ergebnisse für HNO₃, HF und H₂SiF₆ zu liefern.

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