WP-067
Qualitätskontrolle von Halbleiter-Säurebädern gemäss ASTM E1655 – zeitsparend und kosteneffizient mit NIRS
Zusammenfassung
Der Bedarf an Mikroelektronik und gedruckten Schaltungen hat kontinuierlich zugenommen, da für die Herstellung moderner Endgeräte immer mehr Flachbildschirme, LEDs und Fotovoltaik sowie weitere wichtige Zwischenprodukte erforderlich sind. Dies ist für die Halbleiterindustrie durchaus von Vorteil, obwohl die rechtzeitige Lieferung bei gleichzeitiger Einhaltung hoher Qualitätsstandards Herausforderungen mit sich bringt. Für den Erfolg müssen mehrere Prozesse optimiert werden, damit die Produktionseffizienz gesteigert werden kann.
In diesem White Paper werden die Möglichkeiten einer modernen Analysemethode, der Nahinfrarotspektroskopie (NIR), zur Beurteilung der Qualität von Säurebädern beschrieben, die zur Ätzung von Mikro- und gedruckter Elektronik dienen. Die Analysezeiten werden nicht nur stark auf weniger als eine Minute reduziert, sondern auch die damit verbundenen Betriebskosten fallen deutlich geringer aus, was natürlich eine nicht zu vernachlässigende Effizienzsteigerung bedeutet!
