多组分电镀浴的自动化 CVS 方法开发和优化

在过去的三十年中，循环伏安溶出法 (CVS) 已成为分析电路板和晶圆电镀行业电镀铜浴中有机添加剂的标准做法。这些电镀浴的组成的变化产生了对更优化的方法开发程序的需求。CVS 的硬件和软件协议的新进展在很大程度上简化了方法优化的整个过程。在本研究中，结合这些协议讨论了方法优化的过程。

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