Chuyển hướng tin nhắn

Lợi ích và ứng dụng của giải pháp Quang Phổ Cận Hồng Ngoại trong kiểm soát chất lượng quá trình tiền xử lý tấm bán dẫn

12 thg 12, 2022

Bài viết

Chất bán dẫn là thành phần cơ bản của các sản phẩm điện tử hiện đại. Mức độ sạch sẽ là yêu cầu quan trọng bên trong nhà máy sản xuất bán dẫn, đặc biệt là xem xét phạm vi của các bề mặt làm việc (nanomet). Tạp chất bẩn sẽ dẫn đến lỗi thành phẩm. Vì vậy, các nhà sản xuất phải thực hiện các quy trình kiểm soát sản xuất cực kỳ nghiêm ngặt và chính xác với độ tái lặp cao, đặc biệt là trong giai đoạn sản xuất quan trọng nhất: xử lý bề mặt tấm bán dẫn bằng dung dịch khắc và làm sạch để loại bỏ tạp chất và tạo kết cấu bề mặt.

Bài viết này trình bày cách triển khai giải pháp quang phổ cận hồng ngoại (NIRS) trong các quá trình tiền xử lý tấm bán dẫn, lợi ích áp dụng công nghệ trong sản xuất chất bán dẫn để phân tích theo thời gian thực, truy xuất dữ liệu 100%, an toàn sản phẩm tối ưu, tăng năng suất sản xuất và ứng dụng 2060 The NIR trong công nghiệp bán dẫn.

  1. Tích hợp thiết bị quang phổ 2060 The NIR vào chuyền dung dịch xử lý
  2. Tăng cường độ an toàn cho sản phẩm và quá trình bằng bảo mật nghiêm ngặt dữ liệu quan trọng và giám sát trạng thái của quá trình
  3. Tăng độ tin cậy của quy trình và tuổi thọ bể với giám sát thời gian thực
  4. Các ứng dụng tiêu biểu trên thiết bị phân tích 2060 The NIR trong công nghiệp bán dẫn
  5. Kết luận
Close-up view of a silicon wafer. Each miniature square is a chip with microscopic transistors and circuits.
Cận cảnh một tấm wafer silicon. Mỗi ô vuông thu nhỏ là một con chip với các bóng bán dẫn và mạch siêu nhỏ.

Bạn có muốn biết thêm về cách hoạt động của quang phổ NIR không? Tìm hiểu thêm về một số bài đăng trên blog của chúng tôi:

Frequently asked questions in near-infrared spectroscopy analysis – Part 1

Benefits of NIR spectroscopy: Part 2

1. Tích hợp thiết bị quang phổ 2060 The NIR vào chuyền dung dịch xử lý

Trong nhà máy chất bán dẫn, một chuyền dung dịch xử lý  (wet bench) điển hình sẽ bao gồm các bể riêng lẻ có nhiệm vụ khác nhau (ví dụ: khắc hóa học, làm sạch và tráng rửa). Đối với những nhiệm vụ này, mỗi dây chuyền quy trình yêu cầu các hỗn hợp acid hoặc baz khác nhau hoặc các thành phần phụ gia khác nhau. Hình 1 minh họa cách thiết lập điển hình của một chuyền dung dịch xử lý tích hợp với thiết bị phân tích quang phổ 2060 The NIR từ Metrohm Process Analytics.

Ví dụ này bao gồm bể ăn mòn HF Dip (fluorhydric acid)  có nồng độ nhất định dựa trên tốc độ ăn mòn cụ thể), SC1 (xử lý sạch tiêu chuẩn bao gồm ammonium hydroxide và hydrogen peroxide trong nước), SC2 (xử lý sạch tiêu chuẩn bao gồm acid chlorhydric acid  và hydro peroxide trong nước), HotPhos (Phosphoric acid trong nước) và các loại khác (các bước rửa không được giám sát bằng NIRS).