Производство полупроводников
Обзор аналитических методов мониторинга критических параметров качества
1 мая 2023 г.
Новости
Metrohm представляет бесплатный обзор аналитических методов, используемых для мониторинга критических параметров контроля качества в производстве полупроводников.
Методы, представленные в этом обзоре, используют для контроля чистоты воды, кислот в ваннах травления, концентрации солей металлов в ваннах гальваники и ионных примесей. В этот документ вставлены гиперссылки на многочисленные примечания по применению и несколько технических документов, что позволяет получить подробную информацию о большинстве этих применений одним щелчком мыши.
Для облегчения доступа методы структурированы в соответствии с различными этапами производственного процесса: от контроля чистоты сырья до травления, нанесения покрытия, упаковки на уровне пластин, герметизации и ламинирования печатных плат и, наконец, мониторинга извлечения химикатов и очистки сточных вод.
Скачать флайер: Производство полупроводников (8.0005454ENG, PDF, 835 KB)