AN-S-393
Anionen in Wasserstoffperoxid und Ammoniumhydroxid
Zusammenfassung
Die Halbleiterindustrie benötigt für die Herstellung von Elektronikbauteilen hochreine oder sogar ultrahochreine Chemikalien. Die Reinheit der Chemikalien ist entscheidend für die Qualität und die effiziente Produktion der Bauteile. Hier werden Wasserstoffperoxid und Ammoniumhydroxid mittels traditioneller Probenvorbereitungsmethoden wie Aufschluss und Verdampfung und anschliessender Rekonstitution mit Reinstwasser analysiert. Die dabei entstehenden Proben werden unter Anwendung der intelligenten Anreicherungstechnik (MiPCT) injiziert.